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常用名 三氯化硼
英文名 Boron trichloride
CAS号 10294-34-5
EINECS 233-658-4
分子式 BCl3
分子量 117.170
密 度 1.4±0.1 g/cm3
沸 点 12.5±9.0 °C
熔 点 −107 °C
闪 点 84 °F
性 状 透明无色液体
用 途
1.用作半导体硅的掺杂源，有机合成催化剂;还可用于高纯硼和有机硼化合物的制取
2.可用以制造高纯硼、有机合成用催化剂、硅酸盐分解时的助熔剂、可对钢铁进行硼化。还可用来制造氮化硼及硼烷化合物。
3.主要用于电子工业硅半导体器件和集成电路生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。
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